Вакуумметрия

Выпускаемая отечественной промышленностью вакуумметрическая аппаратура предназначена для измерения давлений разреженных газов в лабораторных и заводских условиях. Диапазон давлений, измеряемых отечественными вакуумметрами, очень широк — от 1,01 • 10⁵ до 1,33 • 10^-11 Па и не может быть измерен одним прибором. Это обстоятельство, а также разнообразие эксплуатационных требований, предъявляемых к вакууммет-рической аппаратуре, и определили необходимость разработки и промышленного выпуска большого количества типов вакуумметров.

Все выпускаемые вакуумметры состоят из измерительной установки (блок электропитания и измерения) и манометрического преобразователя (датчика), при помощи которого сигнал давления преобразовывается в электрический сигнал.

Показания вакуумметров зависят от рода газа, метрические характеристики приведены для сухого воздуха. При измерении других газов необходимо использовать указанные в справочной литературе переводные коэффициенты или проводить индивидуальную градуировку вакуумметра по рабочему газу.

Требования, предъявляемые к точности измерения низких давлений, в большинстве случаев невысоки. Иногда достаточно знать лишь порядок величины давления. Поэтому значительная часть изготовляемых промышленностью вакуумметров является индикаторными приборами, погрешность которых колеблется от 10 до 60 и более процентов от измеряемой величины.