Классификация методов и приборов измерения общих давлений

Область давлений, используемая в современной вакуумной технике: 10⁵ … 10^-12 Па. Измерение давлений в таком широком диапазоне не может быть обеспечено одним прибором. В практике измерения давления разреженных газов применяются различные типы преобразователей, отличающиеся по принципу действия и классу точности.

По принципу действия вакуумметры можно свести в следующие классы: гидростатические, деформационные, компрессионные, тепловые, электронные, магнитные, радиоизотопные. На рис. 1 показаны диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумметров.

По методу измерений вакуумметры можно также разделить на абсолютные и относительные. Показания абсолютных приборов не зависят от рода газа и могут быть рассчитаны или получены с помощью градуировки по динамометрическим приборам. К вакуумметрам абсолютного действия относятся жидкостные, компрессионные и деформационные.

В вакуумметрах для относительных измерений используют зависимость параметров некоторых физических процессов, протекающих в вакууме, от давления. Они нуждаются в градуировке по образцовым приборам. Отсчет давления у таких приборов зависит от рода газа и температуры. Шкала вакуумметров для относительного измерения проградуирована, как правило, в электрических единицах, которые с помощью прилагаемой к прибору градуировочной кривой переводятся в единицы давления.

Измерение давлений ниже 1,33 • 10^-3 Па практически возможно только приборами косвенного измерения давлений, поскольку усилия при этих давлениях малы, и измерить их прямыми методами не представляется возможным. Точность измерений из-за влияния большого числа трудно учитываемых факторов (изменение состава и температуры газа, сорбционнодесорбционных процессов в датчике и т. п.) невысока. Погрешность колеблется в пределах ± (10-60) % измеряемой величины.