Ultimate magazine theme for WordPress.

Турбомолекулярный насос

0

Турбомолекулярный насос

Турбомолекулярные вакуумные насосы предназначены для работы в области высокого и сверхвысокого вакуума (от 10-2 до 10-8 Ра). По сравнению с молекулярными насосами малых зазоров, допускающими прогрев области впускного патрубка до 150°С, они более надежны в эксплуатации и, главное, имеют значительно более высокую скорость откачки. При достижении остаточного давления во впускном патрубке турбомолекулярного насоса не содержится паров масла. В противоположность пароструйным насосам турбомолекулярные насосы начинают работать сразу же после пуска и не ухудшают своих характеристик от прорывов атмосферного воздуха. Большая скорость безмасляной откачки в широком диапазоне давлений, отсутствие ловушек и затворов важные преимущества турбомолекулярных насосов по сравнению с паромасляными.

Схема устройства турбомолекулярного насоса показана на рис.6.

В корпусе 2, с закреплен вал ротора 1 с дисками 3. В дисках имеются косые прорези, причем прорези в роторных дисках расположены зеркально по отношению к прорезям в дисках статора 4. При вращении ротора откачка происходит за счет преимущественного отражения молекул от середины ротора к краям. Толщина дисков в описываемом насосе составляет несколько миллиметров, расстояние между дисками 1 мм. Радиальные зазоры также могут составлять около 1 мм, поскольку обратное протекание газа через такие зазоры при низких давлениях значительно меньше достигаемой скорости откачки. Диски имеют большое число параллельно работающих прорезей, благодаря чему достигается большая скорость откачки — 250 л/с.

Leave A Reply