Измерение парциальных давлений

Большие успехи науки и техники в последние десятилетия значительно расширили область применения технологии высокого вакуума и поставили перед ней новые задачи, решение которых уже невозможно осуществить с помощью приборов, измеряющих общее давление газов в вакуумной системе.

Задачи изотопного анализа ядерной техники, определения возраста земли, количественного анализа соединений, определения скорости химических реакций, изучения обмена веществ в биохимии, улучшения качества электровакуумных и полупроводниковых приборов в радиоэлектронике невозможно решать без применения приборов, позволяющих точно определять состав и количество газов или паров, присутствующих в вакуумной системе. Такого рода масс-спектрометрические приборы называются измерителями парциальных давлений. Все они основаны на принципе ионизации газа или паров в вакуумной системе и последующего разделения полученных ионов в электрическом или магнитном т поле в зависимости от отношения массы иона к его заряду.