Вакуумные насосы

Вакуумные насосы подразделяют на 4 класса: низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума. К низковакуумным относят механические поршневые и двухступенчатые насосы, ротационные пластинчатые, двухроторные и винтовые насосы, насосы с частичным внутренним сжатием и водокольцевые. Давление, достигаемое в них, составляет P = 0,3-1 Ра.

К средневакуумным относят пластинчато-роторные насосы и насосы с катящимся ротором, сорбционные насосы, создаваемое предельное (минимальное) давление в которых P = 1 -10^-1 Ра.

К высоковакуумным насосам относят молекулярные и турбомолекулярные, давление в которых P=10^-4-10^-6 Ра.

К сверхвысоковакуумным относят магниторазрядные, геттерно-ионные, конденсационные насосы, а также различные их модификации (P=10^-7-10^-9 Ра).

Насосы низкого вакуума в сверхвысоковакуумных (СВВ) системах не применяются.