Вакуумметры для измерения низкого и среднего вакуума
Вакуумметры для измерения низкого и среднего вакуума
Вакуумметрические приборы промышленного назначения
В настоящее время созданы компактные и надежные вакуумметриче-ские приборы, предназначенные для контроля вакуумных технологических процессов.
В промышленных системах измерения низкого и среднего вакуума (10-1-105 Па) осуществляются с целью контроля предварительного разрежения, необходимого для запуска и обеспечения работы высоковакуумных насосов, а также для контроля и управления технологическими процессами, происходящими при давлении газов в этом диапазоне. В первом случае применяются компактные и надежные индикаторы, например, тепловые реле РВТ-1М и РВТ-2М. Для более точных измерений используются вакуумметры 13ВТЗ-003 и ВД-1.
Тепловое вакуумное реле РВТ-1М обеспечивает двухточечную (на верхний и нижний пределы) блокировку по двум независимым каналам. Приборов индикации давления у реле нет, однако оно имеет выход аналогового сигнала давления и при использовании вольтметра переменного тока может измерять давление. Реле работает с преобразователем МТ-6 в диапазоне 1,33-3,99 • 103 Па.
Реле РВТ-2М (рис. 15) имеет светоразрядную индикацию давления, выход аналогового сигнала 0-10 В и два независимых канала релейной сигнализации о достижении заданного давления. В приборе использованы тепловой преобразователь давления ПМТ-6-3 или его модификации ПМТ-6-30, ПМТ-6-3Р, ПМТ-6-3Х, отличающиеся лишь способом присоединения к вакуумной установке. Применение этого преобразователя дало возможность расширить рабочий диапазон до 10-1-105 Па. Кроме того, замена вольфрамовой рабочей нити (ПМТ-6) на пластиковую (ПМТ-6-3) позволило использовать реле РВТ-2М для контроля технологических процессов с применением химически активных сред.
Вакуумметр 13ВТЗ-003 (рис. 16) предназначен для работы в диапазоне давлений 10-1—105 Па (погрешность при давлении 4—103—105 Па и ниже 1 Па не нормирована). Этот прибор работает с преобразователем давления ПМТ-6-3. Отсчет давления ведется по шкале микроамперметра и градуировочному графику. Вакуумметр имеет релейный блок, обеспечивающий автоматическую сигнализацию о достижении двух заданных уровней давления по двум независимым каналам.
Деформационный вакуумметр ВД-1 (рис. 17) характеризуется независимостью показаний от рода газа, высокой точностью и предназначен для измерения давления в пределах 1-103 Па. Главными частями вакуумметра являются деформационный преобразователь ПДД-1-10 А («Мембровак») и блок питания и индикации БПИ-1. В рабочей камере преобразователя измеряемое давление воспринимается тонкой мембраной, которая вместе с электродом, находящимся в камере опорного (нулевого) давления, образует электрический конденсатор. Емкость последнего изменяется при деформации мембраны с изменением давления. В измерительном блоке эти емкостные сигналы трансформируются в выходной цифровой сигнал, прокалиброванный в единицах давления (Па). Канал блокировки служит для сигнализации о достижении заданного давления. Рабочая камера преобразователя выполнена из коррозионно-стойких сплавов, что делает возможной его работу в установках с агрессивными газами. Преобразователь ПДД-1-10А может работать и без блока БПИ-1. При подключении питания +15 В и -15 В он генерирует аналоговый сигнал 0-10 В, прямо пропорциональный давлению в пределах 1-103 Па.
Тепловой струнный образцовый вакуумметр ВТСО-1 (рис. 18) предназначен для поверочных градуировок вакуумметров в диапазоне 10-1-104 Па. Прибор работает в комплекте с тепловым струнным преобразователем давления ПДТСО-2-1, в котором используется зависимость температурного изменения натяжения нагревателя (струны) от давления. Изменение натяжения меняет частоту собственных колебаний струны; частота в измерительном блоке преобразуется в цифровой выходной сигнал, пропорциональный давлению. Частотный метод обеспечивает высокую стабильность работы прибора, что позволяет использовать его в качестве образцового средства измерения II разряда.
