Установка напыления МЭШ-31.4

Установка напыления МЭШ-31.4. Цена 6 500 000 рублей.
установка бу, в рабочем состоянии с гарантией 6 месяцев.
2 магнетрона, 1 ионный источник, газонапуск.
_________________4b02527d48b37.jpg_________________4b02527d48b37.jpg
mesh31-2.jpgmesh31-2.jpg
Описание

Установка напыления МЭШ-31.4.

В состав установки входят: вакуумная камера, 2 форнасоса , диф.насос (Н-10К), система измерения вакуума Pfeiffer, 3-канальная система газонапуска, 2 магнетрона с блоками питания (2 по 18кВт), ионный источник с БП (3кВт).

Срок изготовления - до 10 месяцев. Проработан вариант переоснащения под напыления ситалловых и поликоровых подложек с переходом на ВЧ-магнетроны и безмасляную откачку.

Основные технические характеристики
*Размер носителей для обрабатываемых изделий, мм 600 х 150
*Количество носителей на карусели, шт 12
Длительность откачки/технологического цикла, мин 10 / 30
Управление технологическим процессом Полуавтоматическое
Управление циклом откачки Ручное с авт.отключением
Технологические устройства:  
Ионный источник (3 кВт) 1 шт.
Магнетроны (15 кВт) 2 шт.
Электрическое смещение на карусель (300 В, 10 А) 1 шт.
Регуляторы расхода газа (автоматические) 3 шт.
Регулятор давления автоматический
Регулятор скорости вращения карусели автоматический
Питание 3 х 380 В / 50 Гц
Потребляемая мощность 45 кВт
Расход воды, м3/ч (Холодная/Горячая) 0.3 / 0.1
Габаритные размеры (длина х ширина х высота) 2500 х 4000 х 2300
* - конструкция карусели определяется требованиями Заказчика.